HYKS-1000/300 SF6 gasvakuumpumpanordning

Denna vakuumpump är en direkt-kopplad vakuumpump med roterande skovlar. Den består av en rötor monterad inuti statorkammaren och två blad som glider inuti rotorslitsarna. Pressade hårt mot cylinderväggen av fjäderkraft och centrifugalkraft, separerar de två bladen det inre utrymmet i inlopps- och utloppssidor. När rotorn roterar kontinuerligt i en fast riktning, expanderar inlopps-sidokammaren cykliskt för att dra in gas, medan avgas-sidokammaren gradvis drar ihop sig för att komprimera den indragna- gasen. Den komprimerade gasen drivs sedan ut genom avgasventilen, vilket uppnår syftet med gasevakueringen. Den här pumpen har en struktur i två-steg. När inloppstrycket är relativt högt släpper båda stegen ut gas ur pumpkammaren samtidigt. När inloppstrycket är lågt kommer gas in i hög-tryckssteget genom inloppet, strömmar in i lågtryckssteget via-luftpassagen mellan-steget efter primär kompression och släpps slutligen ut genom avgasventilen efter sekundär kompression. Av denna anledning kan den leverera ett högre slutligt vakuum än enstegspumpar.{16}